Аналитическая химия: индийский журнал
ISSN (PRINT): 0974-7419

Абстрактный

On optimization of regimes of epitaxy fromgas phase in a horizontal reactor

E.L.Pankratov, E.A.Bulaeva


In this paper we analyzed mass and heat transport in a horizontal reactor from gas phase during growth an epitaxial layer. Based on results of the analysis we analyzed dependences of properties of grown layers on parameters of technological process.


Отказ от ответственности: Этот реферат был переведен с помощью инструментов искусственного интеллекта и еще не прошел проверку или верификацию

Индексировано в

  • КАСС
  • Google Scholar
  • Открыть J-ворота
  • Национальная инфраструктура знаний Китая (CNKI)
  • CiteFactor
  • Космос ЕСЛИ
  • Библиотека электронных журналов
  • Каталог индексирования исследовательских журналов (DRJI)
  • Секретные лаборатории поисковых систем
  • ICMJE

Посмотреть больше

Журнал ISSN

Индекс Хирша журнала

Flyer

Журналы открытого доступа