Биохимия: индийский журнал
ISSN (PRINT): 0974-7427

Абстрактный

On controlling of gas and heat transport in a vertical reactor process to improve properties of epitaxial layers

E.L.Pankratov, E.A.Bulaeva


In this paper we analyzed mass and heat transport in a reactor from gas phase during growth an epitaxial layer. Based on results of the analysis we analyzed dependences of properties of grown layers on parameters of technological process.


Индексировано в

  • КАСС
  • Google Scholar
  • Открыть J-ворота
  • Национальная инфраструктура знаний Китая (CNKI)
  • CiteFactor
  • Космос ЕСЛИ
  • МИАР
  • Секретные лаборатории поисковых систем
  • Евро Паб
  • Университет Барселоны
  • ICMJE

Посмотреть больше

Журнал ISSN

Индекс Хирша журнала

Flyer

Журналы открытого доступа