Абстрактный
On controlling of gas and heat transport in a vertical reactor process to improve properties of epitaxial layers
E.L.Pankratov, E.A.Bulaeva
In this paper we analyzed mass and heat transport in a reactor from gas phase during growth an epitaxial layer. Based on results of the analysis we analyzed dependences of properties of grown layers on parameters of technological process.
Отказ от ответственности: Этот реферат был переведен с помощью инструментов искусственного интеллекта и еще не прошел проверку или верификацию
